本工作应用高分辨X射线衍射仪（HRXRD）对金属有机物气相外延生长（MOVPE）的AlGaN/AlN超晶格(SLs)进行精细结构表征。首先，通过摇摆曲线上衍射峰的强度、位置以及卫星峰位置等信息，计算得到了AlGaN/AlN超晶格的平均组分、晶格常数、晶格应变和失配以及周期厚度等参量。随后，系统介绍了倒易空间平面图（RSM）的绘制方法，并据此获得了外延膜的应力弛豫状态。
孙洁,陈荔,卢焕明. AlGaN/AlN超晶格的高分辨X射线衍射分析[J].科研仪器案例成果数据库,2022,(0).
