MEMS压阻式压力传感器的开发

MEMS压阻式压力传感器的开发
DOI:
                        
CSTR:
                        
作者:
                        
作者单位:
作者简介:
通讯作者:
中图分类号:
基金项目:

Author:

Affiliation:

Fund Project:

摘要:

MEMS压阻式压力传感器具有功耗低、重量轻、体积小、测量精度高、成本低、对被测物体影响小等优点，而小尺寸的MEMS压力传感器能够实现更加复杂且精确的原位检测。本文简要介绍了小尺寸MEMS压阻式压力传感器的开发过程。

Abstract:

参考文献

相似文献

引证文献

王晓东. MEMS压阻式压力传感器的开发[J].科研仪器案例成果数据库,2022,(0).

复制