提本项目研究温度/压力传感防护一体化薄膜传感器,使传感器可直接在苛刻使役环境下原位测量温度、压力等信号,依托新型PVD-ALD复合技术,制备绝缘性能好、结合力佳且较薄的薄膜,通过等离子刻蚀和过渡层改善界面结合,保证测量信号准确快速,结合耐磨防护涂层,探索减小传感器作用的厚度、尺寸,为微纳型原位传感器提供设计依据。
郇靖,范江滔. PVD法结构功能一体化温度压力薄膜传感器[J].科研仪器案例成果数据库,2022,(0).