针对氢能应用安全防护的迫切需求及现役技术在响应速度与稳定性等方面所面临的突出问题，开展特异性氢敏薄膜技术与声表面波（SAW）微纳器件技术相结合的新型氢传感方法研究，解决了复合氢敏薄膜设计、氢敏机理分析、氢敏器件优化及系统集成等关键技术，利用复合钯基薄膜吸附氢气后所导致的SAW相位变化作为传感信号，结合鉴相传感电路，完成集成设计并开展氢敏实验。实验结果表明SAW氢气传感器在0.1~10%氢气浓度范围内超快响应速度(T90<1s)、高灵敏度(~1.6mV/%)以及优异的环境适应性以及稳定性。
崔柏乐 程利娜 薛蓄峰 翟守沛 王文.超快速高灵敏声表面波氢气传感器[J].科研仪器案例成果数据库,2022,(0).
