瓦里安300XP型中束流离子注入机广泛应用于标准半导体工艺。但随着科研发展，该设备由于功能老化逐渐显现出其局限性。通过本次设备改造，增加离子源的功率，可获得高浓度的注入离子。升级气体流量计、离子源电源、分析器、源磁场及析出高压的隔离控制，形成稳定可调节的工作状态。对进样终端及剂量监控系统进行升级改造，扩大设备的应用范围。通过整体的升级改造，实现多方面功能的突破。
张明亮,韩国威,刘庆,黄亚军,邢波,李艳,杨富华,王晓东.大束流硼离子注入设备改造[J].科研仪器案例成果数据库,2022,(0).
