显微形貌表征是新材料研发的基础，其成像效果关乎科研工作的质量。根据材料的特性和分析表征目的的需要，建立了一项低剂量显微成像技术(Low-Dose Microimaging，LDM)，适用于场发射扫描电子显微镜在纳米尺度对材料的显微形貌表征。通过优化扫描电子显微镜 的电子光源参数和仪器参数，从而满足高空间分辨率、高信噪比、SE1 信号产额高的成像要求，达到在真实客观反映材料显微形貌的基础上获得最佳成像质量的表征目的。同时，低剂量的电子光源还具备辐照损伤小以及成像稳定这两个优点。低剂量显微成像技术已应用于多种材料表面超微结构的显微形貌表征，收到了满意的成像效果，为相关材料的研发起到了技术支撑作用。
黎爽,邓平晔.低剂量显微成像技术在材料形貌表征中的应用[J].科研仪器案例成果数据库,2022,(0).
