二次离子质谱仪是最先进的样品表面分析仪器，具有高空间分辨率、高质量分辨率和高灵敏度，能够实现元素周期表内几乎所有元素的微纳米分辨率的点、面、体准确分析，已作为重大科学仪器和基础科研条件平台，在地学、材料科学、核科学和生命科学等领域中发挥着不可替代的重要作用。本文首先介绍了SIMS的发展趋势，然后研制出用于地学研究TOF-SIMS的关键部件和仪器，实现地质样品微量元素分析及应用。通过项目实施，填补了我国大型SIMS的研制空白，为自主研制SIMS大型科学仪器奠定基础。
龙涛 陈平 王利 李海洋 刘敦一.飞行时间二次离子质谱仪的研制及应用[J].科研仪器案例成果数据库,2022,(0).
