针对现有谐振式磁传感器原理不能同时实现高品质因数（Q值）和低功耗的缺点，利用双端固定石英音叉谐振器与铁镓磁致伸缩合金片复合，设计了一种隔离磁机阻尼的高Q值、数字频率输出的超低功耗谐振式磁传感器。利用音叉谐振器结构的解耦特性，设计应力耦合传递结构，隔离了磁致伸缩材料磁机阻尼，从而保证复合传感器Q值与音叉谐振器Q值相当。在磁场作用下，磁致伸缩力传递到音叉谐振器，由于音叉力敏感特性，实现磁-力-频率转换。制备了铁镓合金/石英音叉谐振器复合敏感结构，测试表明：在低气压封装条件下的品质因数约为16764，门振荡电路功耗约为124.8μW，在线性区灵敏度为3.05Hz/Oe，分辨率为6mOe。
黄子军 卞雷祥 李辉 彭伟民 文玉梅 李平.高Q值超低功耗谐振式磁传感器[J].科研仪器案例成果数据库,2022,(0).
