光学MEMS由于其优越的性能及抗电磁干扰能力而受到广泛的追捧。本文研究了一种基于微机电系统（MEMS）的法布里珀罗光学加速度传感器，该加速度传感器由G型弹簧质量结构、激光二极管、分束立方以及光电转换系统通过3D打印封装集成于一体，使得传感器具有较高的稳定性和便携实用性。通过静态重力场及动态振动台实验表明，本文设计的G型弹簧质量结构结合法布里珀罗干涉检测技术可以获得良好的性能，其灵敏度和分辨率分别达到183.793v/g和300ng。
赵明辉 蒋康力 柏洪武 王海容 韦学勇.基于MEMS的高分辨率法布里珀罗加速度传感器[J].科研仪器案例成果数据库,2022,(0).
