为实现对直径介于几百微米至几毫米微球的高精度测量，研制了一套基于迈克尔逊干涉仪的高精度微球圆度测量系统。系统由微型迈克尔逊干涉仪、弹性机构、旋转机构、调整机构和上位机软件组成，利用建立的数学模型从测量结果中分离主轴回转误差，得到各测量点对应的真实半径。对标称直径300 μm、圆度250 nm的商用红宝石球赤道圆周进行了5组重复测量，并通过最小区域法进行圆度评定。结果表明，被测微球的平均半径为149.848 μm，圆度为280 nm，标准差为2 nm。系统具有高精度、低成本、快速测量的特点，能够分离主轴回转误差获得真实半径，可广泛应用于如微圆柱体、微球等具有圆截面特征工件的高精度测量中。
李瑞君 ,段刘辉,赵文楷.基于迈克尔逊干涉仪的高精度微球圆度测量系统[J].科研仪器案例成果数据库,2022,(0).
