临近空间飞行器的气动外形、轨道设计等严重依赖于临近空间气压参数。目前临近空间气压探测一般利用高度、温度测量值，采用反算公式来获得不同高度上的气压值，这种方法误差范围较大、准确度较差。因此，本文提出了一种临近空间超低气压原位感知系统，采用皮拉尼真空传感器直接气压探测。基于MEMS加工材料、测量范围和灵敏度等因素，对皮拉尼真空传感器进行了尺寸参数的设计，并对其进行了理论研究和仿真分析。通过对比皮拉尼真空传感器的理论数值计算与仿真模型数据，发现实时电阻随气压的变化具有高度一致性，且该传感器在1Pa~1000Pa的气压范围内表现出良好的敏感特性，其精度值可达9.25%
袁杰,韩立静,毛雯婧,郑金雄,屈天驰,胡纯.临近空间超低气压原位感知系统[J].科研仪器案例成果数据库,2022,(0).
