压力位差式气体层流流量传感器研究

摘要:

本文介绍了一种新型压力位差式气体层流流量传感器设计和测试工作。传感器分为本体和集成盖板两部分，壳体为一体化加工而成，取压盖板采用内部管路联通的方式代替外部取压管，毛细管组、滤网、管路连接件等均采用模块化设计，差压、绝压和温度传感器集成在取压盖板上。文中分析了传感器工作原理，给出了修正公式。基于音速喷嘴气体标准流量装置进行了传感器实验测试，流量测量范围为（0.0821-5.2008）m3/h。测试结果显示，在整个量程范围内，流量测量误差小于±0.8%，量程比超过60倍，达到了设计目标，说明设计工作是成功的。预计这种传感器可以在微小气体流量准确测量领域获得应用。

关键词:气体流量测量;小流量;层流流量传感器;压力位差式;模块化

Abstract:

Key words:气体流量测量;小流量;层流流量传感器;压力位差式;模块化