提出了一种三角梁柔性约束变刚度微纳测头，包括动平台，动平台呈圆台状，动平台的一侧安装有测量组件，测量组件通过测量支撑结构与动平台连接，测量支撑结构的中心与测量组件的圆心同轴，测量支撑结构上固定安装有若干反射片，动平台的另一侧安装有若干与反射片相对应的干涉仪，动平台在于反射片相应的位置处分别设有贯穿孔；测量支撑结构的一端与测量组件连接，另一端通过柔性调节件与压电堆栈器连接，柔性调节件在动平台的下方呈正三角形分布；测量组件的顶部与动平台的底面之间具有间隙。本发明可通过调节压电堆栈器不同的工作状态，改变测量组件的刚度，可满足因测量过程、测量对象不同而对测量组件有不同刚度的需求。
褚勇,赵旭,权紫晴.一种三角梁柔性约束变刚度微纳测头[J].科研仪器案例成果数据库,2022,(0).
