服役于复杂高温环境的高端装备如精密机床、空天装备、机器人等关键部件的智能化是提升装备服役性能的关键。大部分零部件呈现形貌曲率分布复杂等特征，较难原位制备传感器进行健康监测。基于耐高温前驱体陶瓷材料，开发五轴曲面薄膜传感器制备技术，实现复杂曲面结构感知一体化传感器制造。通过软件算法开发与工艺参数探究，实现不同曲率及不同图案化直写。基于曲面共形制造工艺，在直径30mm氧化铝圆柱制备薄膜温度传感器并进行高温测试。结果表明，室温至800℃多次循环测试重复性较好.选取轴承、螺栓等不同表面制备薄膜传感器进行测试，不同温度段动态循环测试误差均较小且响应时间优于标准热电偶。通过对曲面共形薄膜温度传感器的研究，为复杂高温环境零部件智能化传感检测提供一定参考。
陈国淳,曾英俊,崔灿,李劲,崔宇轩,海振银,孙道恒.应用于高温复杂环境的曲面共形薄膜温度传感器[J].科研仪器案例成果数据库,2022,(0).
