专业技术成果及人员介绍——微纳米器件的加工、性能方面的研究及半导体器件失效分析

摘要:

简要介绍了微纳米器件的加工、性能方面的研究及半导体器件失效分析技术及应用。

Abstract:

简要介绍了微纳米器件的加工、性能方面的研究及半导体器件失效分析技术及应用。