基于并行差动共聚焦的微观形貌检测仪

基于并行差动共聚焦的微观形貌检测仪
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本作品以解决工业样本的微纳尺度快速测量为目的。在共聚焦成像原理基础上，采用结构光调制实现了横向超分辨，比同条件明场照明下的横向分辨率提高了58%；将物方差动与并行共聚焦显微技术相结合，实现了被测表面的轴向精度的三维形貌还原。本作品是一套具有快速高效、高精度及易操作的微观形貌检测仪。

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参考文献

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引证文献

吴栋梁,袁涛,叶一青,林泽金,刘奕乐,谢佳豪,陈锶铃,梁珈,易定容.基于并行差动共聚焦的微观形貌检测仪[J].科研仪器案例成果数据库,2022,(0).

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