表面(对水氧)敏感材料的X射线光电子能谱测试(XPS)通常是在惰性气氛手套箱中制备到标准样品台上,用封口袋密封后转移至能谱仪实验室,迅速打开封口袋短暂暴露空气(约15s)后送入进样室内抽真空等待测试。这一操作过程对于空气敏感的材料无法确保测试数据的有效性和准确性,因此本工作自主研制了一种半原位XPS样品转移装置,经对比实验证明该装置有效。在使用中针对一代装置单次进样量少,旋塞阀重装置整体重心偏移等缺点,本文设计了第二代半原位XPS样品转移装置,经升级改造的装置整体结构更小巧轻便,易于操作,单次进样量从6个增加到20个以上。
章小余,赵志娟,袁震.基于自研半原位XPS样品转移装置的升级改造[J].科研仪器案例成果数据库,2022,(0).