LED的微型化使其光电特性表征变得困难，传统探针方法易损坏LED的微小电极，而非接触式光致发光方法容易导致已知合格芯片(KGD)检测出现误差。本文基于光生伏特效应和电磁耦合理论，提出了一种非接触式光电联合检测方法，通过激光激发微型LED光生电流并使用数字锁相放大器检测差分感应信号，实现了微型LED的关键光电特性检测和评估，特别是电流-电压（I-V）特性、反向饱和电流以及增强型KGD检测。实验结果与理论分析一致，验证了该非接触式方法的可行性。有望在微型LED检测发挥重要作用。
钟晨明,郭伟杰,朱丽虹,陈忠,吕毅军.非接触式微型LED光电联合检测方法[J].科研仪器案例成果数据库,2023,(0).
