传统扫描电镜校准标样多为金属材质，热膨胀系数较大，受环境影响显著，开发一种新型校准标样系统很有必要。基于此，在实验室设计、合成了一种以纳米球形二氧化硅为支撑内核，非金属碳为导电壳层的新型校准标样。同时利用树脂3D打印技术设计、打印了与之相配套的标样载样台，用于承载校准标样。最后对上述新型校准标样系统进行上机测试、统计与分析，结果显示新型非金属导电碳纳米球在电子束的反复轰击下，图像分辨率较高，稳定性良好（测试数值p>0.05），X/Y轴的线性失真度分别为0.012%以及0.082%。这将有望取代传统市售标样。
魏强,王曼璐.一种新型扫描电子显微镜校准标样系统的研制[J].科研仪器案例成果数据库,2023,(0).
