基于显微高光谱成像的微型发光二极管二维光热分布检测系统

摘要:

随着人们对微型发光二极管（LED）的应用及其热管理越来越重视，开发一种有效的二维结温测量方法至关重要。此项工作提出了利用显微高光谱成像（μ-HSI）技术来探测微型LED倒装芯片的二维光热分布。基于设计的二轴旋转平台，μ-HSI能够直接聚焦在LED芯片的外延层表面和侧面，以获取其二维光谱分布。随后，利用半高宽与结温的线性关系，提取二维半高宽（FWHM）矩阵来推导二维结温分布。最后，可以准确地确定有源层（即p-n结）的位置和温度分布。此外，该技术还可以分析外延层与蓝宝石或电极之间界面的超细结构以及温度分布。这项工作为微型LED的质量改进和热管理提供了一个有效的工具。

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