纳米压印是一种高分辨率、高产量、低成本的全新纳米结构制造技术,其亚十纳米分辨率的技术优势一经出现就引起了全世界的广泛关注。南京大学纳米压印技术与应用实验室开发了一款桌面式科研用气压压印设备,这款设备在前期设备基础上进行了优化。首先是轻量化、集成化、小型化设计,设备尺寸大大缩小;此外也进行了工艺动作的升级改造,主要解决了压印过程中模板容易变形的问题;其次对操作界面进行了升级,自动化能力大大增强。这款设备除了应用于科研领域以外,还可以作为量产导入前的工艺验证设备使用。其工艺过程成熟,压印匹配的微结构尺寸范围广泛,为微纳制造领域的发展提供了助力。
崔玉双,郝宗斌,葛海雄.科研用气压式纳米压印设备研发[J].科研仪器案例成果数据库,2023,(0).