球差电镜在三维纳米薄膜应变测量中的应用

球差电镜在三维纳米薄膜应变测量中的应用
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利用应力应变工程可将平面纳米薄膜通过卷曲构造三维微纳器件，其中的应变是构造的驱动力，同时影响材料和器件性能。本文利用球差校正扫描透射电子显微镜对三维半导体纳米薄膜进行了原子级表征，并对器件界面处进行了原子级应变测量，揭示了三维纳米薄膜器件界面处的应变分布，为半导体纳米薄膜器件提供了重要的信息。

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参考文献

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引证文献

郑植,吴斌民,刘园园,黄高山,梅永丰.球差电镜在三维纳米薄膜应变测量中的应用[J].科研仪器案例成果数据库,2023,(0).

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