原子力显微镜的双扫描器系统的开发

摘要:

原子力显微镜是可以实现纳米尺度表面三维形貌表征的重要技术手段，但由于原子力显微镜的三轴耦合扫描器在进行较大范围扫描时客观存在耦合误差，导致图像数据发生弓形效应，目前只能通过数据的软件后处理来修正，但处理过程会不过避免的引起实测形貌和真实形貌发生一定的偏离。本研究通过新增一个大范围的XY方向平板扫描器，控制系统原有扫描器只负责Z轴反馈，从而实现耦合误差的消除，并有效提高系统的扫描范围和扫描速度，扩大原子力显微镜的可用场景。

关键词:扫描器;原子力显微镜;耦合误差;表面形貌

Abstract:

Key words:扫描器;原子力显微镜;耦合误差;表面形貌