介绍了一种高分辨率的纳米粒子图案化方法。利用旋涂在导电衬底上的低表面能含氟聚合物涂层,基于静电组装技术制备了多种纳米粒子的高分辨率微纳米图案，并将纳米粒子的图案转移到目标衬底表面.实验结果表明，低表面能含氟聚合物涂层的引入是这种方法成功的关键。这种方法可在多种不同材质和形状的目标衬底上实现金属,氧化物，量子点等多种不同纳米粒子的任意微纳图案制备，图案最小周期可以达到200纳米,最小线宽可以实现30纳米以下。
边捷,满再琴,张伟华.基于静电自组装的纳米粒子图案化方法[J].科研仪器案例成果数据库,2023,(0).
