FIB加工时因电子束、离子束与样品不是垂直关系，投影视角导致对加工位置的判断出现偏差。本文以表面受剪切应力的非晶条带原位TEM加热样品制备为例，探索开发了一种投影视角下精确判定加工位置的方法。并对比了不同制备细节对原位TEM实验结果的影响。依照模拟计算结果预判薄片焊点，可以将样品精确的固定在SiN观察窗口，满足TEM实验的测试要求。该方法克服了投影视角导致的位置偏差，显著提高了FIB制样的实验成功率，也可为其他有定点要求的FIB加工提供思路借鉴。
段北晨,吴海辰,于海涛,张蕾,陈国新. TEM加热实验样品的高精度FIB制备技术探索[J].科研仪器案例成果数据库,2023,(0).
