处于使用和贮存状态的薄膜半导体材料因其经历的自然和诱导环境因素而引起器件的性能退化甚至失效，进而影响器件甚至整个系统的可靠性。目前对于环境失效行为的研究方法都很难捕获实时或准实时的表面成分及价态信息，难以判断其早期失效的行为特性以及深入掌握其失效机理。利用准原位X射线光电子能谱（XPS）分析方法能够获取薄膜半导体材料准实时的表面成分及化学态信息，更加系统地剖析早期失效行为特性并分析其失效机理，对设备设计与生产过程中薄膜半导体材料体系的合理选择、设计改进以及提高电子芯片的环境适应性与可靠性具有重要意义。
严楷,郭佳睿,李夏,庄敏,陈瑜,白杰.薄膜半导体材料环境失效的准原位XPS分析方法[J].科研仪器案例成果数据库,2023,(0).
