本文基于石墨烯波导的光学特性，研究了基于石墨烯复合结构的 MZ 型压力传感器的新型敏感机理与性能优化方法，设计并制备了不同类型的石墨烯复合结构压力传感器，实现了 MZ 型压力传感器灵敏度的提高。论文首先提出了石墨烯复合结构的建模方法，讨论了有效折射率的计算方法，并且构建了理想状态下的传感器金字塔结构的理论模型，实现了理论上传感器压力-折射率-输出光信号的信息传递。其次，设计了一种石墨烯波导复合结构压力传感器。以灵敏度、传输损耗、分辨率、测量范围为目标，优化设计石墨烯波导的干涉长度、臂间距、纤芯宽度等参数，并通过制备器件验证了石墨烯复合结构优化设计方法的有效性。
李艳,朱珂慧,梁帅,王泽龙,肖屹峰,杨福铃,朱珂慧.基于石墨烯复合结构的MZ型压力传感器[J].科研仪器案例成果数据库,2023,(0).
