利用劈尖干涉测量平整度

利用劈尖干涉测量平整度
DOI:
                        
CSTR:
                        
作者:
                        
作者单位:
作者简介:
通讯作者:
中图分类号:
基金项目:

Author:

Affiliation:

Fund Project:

摘要:

提出了基于等厚干涉，明暗条纹形状与间距变化的的原理，通过观察相干光产生的干涉条纹。精确测量出条纹形状变化，然后进行数据传输与处理，得出光学仪器的平整度。用这种方式测量光学仪器表面平整度，有着高精度和简便的优点。

Abstract:

参考文献

相似文献

引证文献

宋顺义,杨紫琼,黄奕铭,张伟.利用劈尖干涉测量平整度[J].科研仪器案例成果数据库,2023,(0).

复制