多功能扫描电镜平台的操作流程化设计与应用

摘要:

近年来大型检测设备逐渐呈现出多功能、集成化的特点，该特点在提高实验效率的同时，也带来了操作流程复杂化和培训周期长的问题。因此规范设备流程化操作不仅可以提高操作者的实验效率，同时有效避免碰撞，测试参数错选、漏选等操作失误。本文以集成了SEM、EBSD、TKD、STEM等功能的蔡司Crossbeam 550扫描电镜实验平台为例，总结了不同功能快速切换的流程化操作设计思路与实际应用情况，旨在为相似的多功能大型检测仪器的规范管理与高效应用提供参考。

关键词:测试;设备管理;流程化;安全性

Abstract:

Key words:测试;设备管理;流程化;安全性