超精密光刻机高速可变光阑系统技术概述

摘要:

光刻机高速可变光阑是光刻机十大核心技术之一，其性能直接关系到光刻机的曝光精度和生产效率。然而，国外技术对我国光刻机研制实施严格限制，严重制约了自主研发的进展。为解决这一技术瓶颈，项目组重点攻克三大核心难题，包括确保矩形窗口的四个光阑片在高速动态扫描下保持共面，同时实现高精度独立运动；在满足高加速度和高速运动要求下，有效抑制运动过程中的微扰动，提升动子机械带宽和外界扰动的抑制能力；在多输入多输出的非线性结构中实现极高动态和高精度运动控制的平衡。项目组通过无摩擦矩形窗口生成技术、小型无线缆超高加速度驱动技术以及精密运动控制技术等创新方案，全面提升了系统的性能和自主研发能力。

关键词:光刻机;高速可变光阑;系统组成;关键技术

Abstract:

Key words:光刻机;高速可变光阑;系统组成;关键技术