王寅龙，黄春玉，孙旭辉，付少杰，洪煦昊*
径向希尔伯特变换在显微系统中可以实现对透明生物样本的边界增强及浮雕成像等效果，在呈现样品的相位信息方面已开发成熟。基于此基础，一种反射式的螺旋相差金相显微镜被设计研制出来，用来观测金相样本及芯片检测。有别于传统的4f双透镜系统实现径向希尔伯特变换的思路，整合新型阿贝滤波光路和螺旋相差显微镜，设计了实际可用的模块化产品方案，实现半导体芯片的导电粒子检测及缺陷取向性检测，具有极高的适用价值。
王寅龙,黄春玉,孙旭辉,付少杰,洪煦昊*.金相螺旋相差显微模块的研制及应用[J].科研仪器案例成果数据库,2024,(0).
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