任子君，陈亚楠，王佳伟，孟令杰*，高禄梅
电子背散射衍射（EBSD）技术作为一种广泛应用的微观分析方法，对于揭示样品的晶体学特征至关重要。然而，传统表征流程常受限于单次样品装载量小、对样品尺寸要求苛刻，以及因频繁更换样品而需反复破真空的繁琐操作。针对这些技术瓶颈，本研究团队成功自主研发了一款创新的多功能样品台，实现了显著的技术突破。该多功能样品台单次装载1cm2的样品数量多达15个，大幅提高了测试效率。更为突出的是，其对样品尺寸的兼容性得到了根本性改善，不仅能够妥善安置直径达30mm的镶嵌样品，还适用于尺寸为50mm×26mm的原位试验件，充分满足了扫描电子显微镜（SEM）中EBSD测试的严格要求。此样品台设计简洁、操作高效可靠，具有极高的实用性和技术价值，可作为优选的国产替代方案，在材料科学、地质学、以及微纳电子学等领域的微观结构分析中发挥重要应用。
任子君,陈亚楠,王佳伟,孟令杰*,高禄梅.高效EBSD分析用多功能样品台的研发和应用研究[J].科研仪器案例成果数据库,2024,(0).
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