基于球差校正扫描透射电镜原子定量分析的方法研究与典型应用

摘要:

亚埃分辨率像差校正扫描透射电子显微镜（AC-STEM）已成为一种先进且直观的材料表征技术。原子级STEM数据因样品质量、仪器状态、环境干扰等因素，不可避免的存在各种噪音，这导致原子定量分析一直是领域的难点。AC-STEM原子定量分析技术是电镜领域的“不公开”的关键技术，市场上尚无普适的商业软件可供仪器共享平台推广使用。本案例围绕材料普遍的局域成分、晶格畸变、原子偏移等关键的结构特征，基于原子列坐标和强度的精确标定，独立地开发了针对原子级STEM数据的系统性的原子定量分析方法。通过介绍该方法在电子功能材料（以铁电与热电材料为例）中的典型应用案例，阐述原子定量分析在材料研究中揭示结构-性能关系和指导新材料设计的重要性。该创新的定量分析方法为西安交通大学分析测试中心球差校正电镜支撑校内外多学科研究发挥了重要作用。

关键词:球差校正扫描透射电镜;原子定量分析;极化;缺陷结构;点缺陷

Abstract:

Key words:球差校正扫描透射电镜;原子定量分析;极化;缺陷结构;点缺陷