基于多波长点衍射干涉的非球面面形检测技术研究

摘要:

非球面元件是光学领域中的一种重要元件，面形由多项高次方程决定，且面形上各点曲率半径各不相同，可用于校正各种像差，其面形形状和加工质量直接影响着光学仪器的性能。为实现对大口径及高次非球面的面形测量，本文提出了一种多波长点衍射干涉的检测方法，基于拍频定理，扩大了点衍射干涉的检测范围，并应用机器视觉技术完成对多波长光路的校准。同时为提高检测效率，减少环境扰动的影响，本文提出了一种基于干涉光强的两步式相位提取方法，减少了多波长的移相次数，提高了系统的稳定性。通过相关的仿真和实际的实验效果，验证了该方法的有效性。

关键词:多波长点衍射干涉;非球面面形测量;光学精密测量

Abstract:

Key words:多波长点衍射干涉;非球面面形测量;光学精密测量