基于消光椭偏原理的立式纳米薄膜厚度计量装置的研制

摘要:

对消光式椭偏法测量的原理进行了介绍，包括光的偏振态、反射的多光束干涉原理、相位差的计算原理、菲涅尔公式等，最后得出薄膜厚度与各个参量之间的关系，主要参量包括入射角、起偏角和检偏角。纳米薄膜厚度计量装置主要负责对起偏角和检偏角的测量，在传统消光椭偏法中，整体结构采用卧式，这对晶圆的固定方式会有所限制，由此会导致晶圆的破损和污染，采用立式结构，能够使晶圆在测量中处于水平状态，实现无损检测，采用多入射角的测量方式，实现多角度测量和对薄膜厚度周期的测量。

关键词:计量学;光学参数;晶圆薄膜;椭偏法;无损检测

Abstract:

Key words:计量学;光学参数;晶圆薄膜;椭偏法;无损检测