MEMS惯性器件高过载测试技术

摘要:

MEMS惯性器件以其体积小 ,易于集成 ,可批量化生产 ,成本低等特点 ,在军事领域应用前景广泛 . 在制导炮弹的发射过程中, 为使炮弹有更远的射程 , 弹体要经历巨大的后座惯性力和离心力的作用以达到预计的发射初速度 , 炮弹引信所经受的膛内冲击强度极大 . 为验证 MEMS 惯性器件的抗高过载能力 , 本文提出一种 MEMS 惯性器件高过载测试技术 , 通过在实验室环境下对器件进行软件模拟仿真,冲击实验,拉曼光谱散射实验等,验证了器件的抗高过载能力。

关键词:MEMS惯性器件;陀螺;角速度计;抗高过载测试

Abstract:

Key words:MEMS惯性器件;陀螺;角速度计;抗高过载测试