高端制造业存在大量对部件性能影响极大的复杂变直径狭小空间,这类空间的三维几何量测量难度大。为此,提出了复杂变直径狭小空间谱域光学低相干三维测量方法,研制了长悬臂小直径光学旋转扫描测头,搭建并验证了测量系统的性能。实验结果表明,系统可测直径范围5~30 mm、深径比范围5~10的狭小空间,精度优于0.005 mm,测量速度500点/秒。
张涛,夏仁波*,赵吉宾*,李心锘,陆洋.复杂变直径狭小空间谱域光学低相干三维测量方法[J].科研仪器案例成果数据库,2024,(0).