一种用于超精密运动台的压电驱动器研究

摘要:

随着智能材料的发展，压电材料因其质量轻、输出力大、响应快等优点常在低频、高精度控制系统中用作执行机构。本文基于逆压电效应，设计一种d33工作模式下的压电驱动器，并提出该压电驱动器的迟滞补偿方法，用于解决真空、无磁要求下的小行程、大精度运动。建立压电叠堆驱动模型，基于该模型设计一种基于d33工作模式压电叠堆的主动抑振式压电驱动器，推导驱动力模型，分析驱动电压、安装高度及安装位置对悬臂梁挠性形变的影响。建立压电驱动器的有限元模型，探究压电驱动器在工作过程中的应力、应变与模态，并完成压电驱动器的安全校核。该研究成果为实验超精密小行程高精度驱动提供了可能。

关键词:超精密驱动;压电叠堆;压电驱动原理;性能分析

Abstract:

Key words:超精密驱动;压电叠堆;压电驱动原理;性能分析