帅聪1,2，刘欢1,2，吴剑威1,2
FIB-SEM双束系统结合了聚焦离子束（FIB）的高精度加工和扫描电子显微镜（SEM）的高分辨率成像能力，推动了多学科发展。本文介绍了FIB-SEM双束系统的原理及结构组成，探讨了其在多领域的应用案例及发展前景。
帅聪,刘欢,吴剑威. FIB-SEM双束系统原理、应用及进展[J].科研仪器案例成果数据库,2024,(0).
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