赵亚敏 1,2*, 崔俊宁 1,2, 金明睿 1,2, 韩明 1,2, 雷嘉 1,2
在尖端大型科学实验系统中,大型精密隔微振装置是基础核心装备。美国 NIST、德国PTB、英国 NPL 等顶尖研究机构以及引力波探测研究中均采用了隔微振技术,同时,这一技术也成为显微成像仪器和高档机床等超精密制造设备的必备选择。本文针对大型气浮隔微振器的大承载与低刚度隔微振性能之间相互制约,开展了基于空间磁环阵列的负刚度构型及基于加速度与速度复合反馈的调控方法研究,通过同轴嵌套、相邻层间垂直磁化的空间磁环阵列实现高负刚度特性,并分别利用负载加速度与速度反馈等效调节气浮刚度、有效抑制振动传递率峰值,实验结果表明大型气浮隔微振系统的固有频率由 1.625 Hz 降低至 0.875 Hz,振动传递率峰值衰减了57.59%、隔振等级由 VC-F 提升至 VC-G。
赵亚敏 *, 崔俊宁 , 金明睿 , 韩明 , 雷嘉 .高端仪器装备大型精密隔微振技术[J].科研仪器案例成果数据库,2024,(0).
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